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#포토레지스트 #MOR #CAR
경인양행 켐트로스 엘티씨 동진쎄미켐
삼성전자가 차세대 D램 극자외선(EUV) 노광 공정에 금속산화물레지스트(MOR) 적용을 검토 중
MOR은 차세대 포토레지스트(PR) 중 하나다. 기존 화학증폭형레지스트(CAR) 대비 해상력이 높고, 식각 저항이 우수하다는 장점

삼성전자, 차세대 D램에 인프리아 MOR 적용 검토
삼성SDI·동진쎄미켐 등 무기물 PR 개발 중
https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=27505


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