Expose M/C, Photo Resist M/C, 산화/확산 처리장비, 불순물 주입 장비, PVD, CVD, 평탄화 장비, 세정·건조장비, Wafer 검사 장비
Expose M/C, Photo Resist M/C, 산화/확산 처리장비, 불순물 주입 장비, PVD, CVD, 평탄화 장비, 세정·건조장비, Wafer 검사 장비
